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PCB压力传感器
QPS-100A
QPS-100A胎压传感器芯片(PCB)系采用硅微机械加工技术制造,压阻原理。本系列为绝对压力敏感芯片,采用各向异性腐蚀技术和硅硅直接键合技术在硅片内部形成一个长期稳定的真空基准压力参考腔,在表面硅膜上用集成技术制作成惠斯顿应变检测全桥,从而在受力时输出与压力成线性关系的电压信号。
深圳市三达特科技有限公司
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